- # RF/DC Sputtering System 자료와 사진
- #ICP-RIE(AFS-IR6T, AFS-IR4T) 공정 자료_삼성전자 생산기술연구소 납품
- #PE-RIE(AFS-PR6T)표면처리(개질),Ashing,식각(Etching)3가지 공정 진행 장비
- #플라즈마 장비(AFS-A230):페로브스카이트 (Perovskite),한국에너지기술연구원 김동석 박사님 연구팀 태양전지 최대효율이 25.6%_공정필수장비
- #RIE(AFS-R4T) 한양대 정진욱 교수님 플라즈마(공정) 연구실 연구활발
- #RIE(식각장비:AFS-R4T);스마트 제조 엔지지어링사업단 공용장비 제작중
