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제품관련자료실

Auto-Sputtering System 최적가 판매 / 최저가 판매

관리자 | 2016.11.22 16:14 | 조회 285

Substrate size : Wafer 4 inch 부터~

Substrate rotation

Substrate temperature: Max. 400℃

Turbo & Rotary pump 조합

Ion & Convection gauge 조합

Mass Flow Control: Selection

RF power: Selection applicable

DC power: Selection applicable

Target size: Selection applicable

Automatic process controller

Interlock function for system safety


=> 최저가로 판매를 하고 있습니다.

=> 언제든지 연락주세요!


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