Liquid(액상/체)를 기체화 시켜 Gas 분사방식이 Showhead 방식으로 저온 Plasma를 발생시켜 Polymerization(중합) 코팅을 하는 장비입니다.

Liquid를 사용하지 않으면 표면개질, Cleaning, Sort Ashing도 가능 합니다.

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