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제품관련자료실

RIE System -한양대 공정 및 플라즈마 연구실

관리자 | 2017.12.13 16:13 | 조회 404

한양대학교 전기공학과 정진욱 교수님 연구실인 Plasma 연구실에서 RIE System을 사용하고 계십니다.


Plasma 연구실에서 Plasma를 연구하기 위해서는 장비가 좋아야 겠죠^^


올포시스템은 연구개발용 Plasma System을 전문적으로 제작하고 기술력을 인정 받아서 Plasma Source Module 중에 ICP type은 양산용 장비 회사에 납품을 하고 있습니다.


과거에는 주성엔지니어링, 원익IPS의 장비 개발에도 참여 했습니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요!

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