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제품관련자료실

Furnace(Thermal CVD) & Plasma System for Graphene 및 신소재

관리자 | 2013.12.10 12:04 | 조회 831

Furnace 또는 Thermal CVD에 고밀도 Plasma Source Module를 장착하는 장비입니다.

 

반도체 뿐만 아니라 Graphene 및 신소재를 연구하기 위한 장비입니다.

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