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공정기술 및 논문자료실

ICP-RIE Deep Etching 자료

관리자 | 2013.12.10 11:35 | 조회 964

ICP-RIE로 Deep Etching을 한 논문 자료 입니다.

Si, SiO2, Si3N4, Poymer, Al, GaAs, ITO, Sapphire 등  Tuning Recipe 자료를 제공 합니다.

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