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공정기술 및 논문자료실

Graphene 표면처리 자료

관리자 | 2013.12.10 11:38 | 조회 664

Graphene으로 전계효과트랜지스터를 만들 경우 포토리소그래피에 의해 Polymer Residue 에 오염됩니다.

이 오염된 것을 ICP Source(고밀도 플라즈마 소스)을 적용하여 Ar로 오염물질을 제거합니다.

 

Graphene이 다치지 않도록 조심스럽게 표면처리하여 Graphene 물성을 초기상태로 복귀가 가능했습니다.

 

본 연구에 관련된 논문은 Open이 어렵습니다.

 

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