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플라즈마 관련자료실

진공 플라즈마와 대기압 플라즈마 비교 설명

관리자 | 2019.01.04 11:06 | 조회 39

진공 플라즈마는 CCP type의 저밀도 플라즈마와 ICP type의 고밀도 플라즈마를 활용하여 공정을 진행 합니다.

진공 플라즈마는 랑뮤어 프로브, 와이즈 프로브와 같은 진공 플라즈마 진단 계측기가 있습니다.


대기압 플라즈마는 진공 플라즈마와 다르게 진단 계측기가 없습니다.


진공 플라즈마 장비는 장비 가격이 비싸고 대기압 플라즈마 장비는 장비 가격이 저렴합니다.

저비용의 시설 투자가 가능하고 C/S도 간단하여 관리가 쉽습니다.


실제로 어떤 공정에 적용 했을 때 그 결과를 보고 판단 합니다.

실제로 사용한 선구자가 있다면 그 선구자의 결과를 보고 대기압 플라즈마 장비를 구매하게 됩니다.


올포시스템은 진공 플라즈마 장비 뿐만 아니라 대기압 플라즈마 장비를 제작하고 있습니다.

대기압 플라즈마 장비는 표면개질, Cleaning, 친수성, 소수성, 등의 여러 공정이 가능한 장비 입니다.

페로브스카이트 태양전지를 제작하는 공정에 적용되어 최대효율을 갱신한 장비 입니다.

최대효율을 넘기기 위해서는 올포시스템의 대기압 플라즈마 장비가 필수적으로 필요합니다.

페로브스카이트 태양전지, 실리콘 & 페로브스카이트 태양전지에 필수적인 장비입니다. 

실리콘과 페로브스카이트의 이종접합 전처리 공정에도 적용이 가능합니다.



LCD, OLED를 차세대 소재 물질(페로브스카이트)을 적용 대체 할 수도 있다

"페로브스카이트 발광다이오드(PeLED)는 OLED보다 고해상도를 구현하는데 더 유리하다"며 "디바이스로 만들었을 때도 저전력 저전류로 훨씬 더 많은 빛을 얻을 수 있어 가전 에너지 효율이 높일 수도 있다 



대기압 플라즈마 장비는 비슷한 장비가 있지만 공정 결과가 다르기 때문에 저희 장비가 선정되어 페로브스카이트 태양전지 공정에 적용 되었습니다.


납품처는 한국화학연구원, 전자부품연구원, 한국생산기술연구원, 부산대학교, 등 페로브스카이트 태양전지 뿐 만 아니라 다른 분야에도 응용하여 연구하고 계십니다.


한국에너지기술연구원, 차세대전지원천기술센터, UNIST(석상일 교수님), 등에 2018년도에 페로브스카이트 태양전지 연구를 위해서 장비를 납품을 하였습니다.


대부분의 태양전지 연구하시는 분들은 최대효율을 갱신하기 위해서 저희의 대기압 플라즈마를 적용하시는 것을 모르고 계십니다.


연구용 뿐 만아니라 양산용까지 가능합니다.


참조)


RIE(식각: Etching) System을 소개합니다.


Graphene, ()소재, 반도체, 소자 연구에 


성균관대 물리학과 나노구조물리연구단 이영희 교수님, KIST 전북 분원, UNIST, DGIST, 인하대학교, 한양대학교, 등에 납품을 했습니다


최근에는 서울대 물리학과 이탁희 교수님, 서울대 융합과학기술대학원 김창순교수님 연구실에 RIE(식각: Etching) System을 납품 했습니다.


 ICP-RIE System을 소개합니다.


다른 회사의 연구개발용 ICP-RIE System이 있지만 저희 장비는 다른 회사 보다 가격이 동등하거나 그 이하 입니다.


최근에 R&D 기술력을 인정받아 삼성전자생산기술연구소에서 수주를 받아서 납품을 했습니다.


올포시스템은 다른 진공 장비 업체와 달리 과거에 원익아이피에스, 주성엔지니어링의 장비 개발에 참여했고 현재 양산용 반도체 장비를 제작하는 기업에 ICP Plasma Source Module을 공급하고 있습니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요!


팀장 강신석

010-4064-6650



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