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PE-RIE_차세대 태양광 소재 ‘페로브스카이트’ 납 없이_연구

관리자 | 2019.08.28 17:03 | 조회 78

http://dongascience.donga.com/news/view/30121


과거 KIST 전북분원 김태욱 박사(센터장)님께 PE-RIE System을 납품을 하였습니다.


약 1달 전에 납품한 PE-RIE 장비 납품 전의 테스트 자료를 올립니다..
상부 PE 플라즈마 소스를 사용하여 표면개질(표면처리, 등)가 되는 모드와 하부 RIE 플라즈마 소스를 사용하여 에칭하는 모드로 두가지 공정을 할 수 있는 PE-RIE 장비 입니다  
올포시스템은 장비 납품 전 He Leak Detector로 진공 테스트를 한 후 최종 Plasma 테스트를 합니다.



문의사항이 있으시면 연락주세요


강신석

010-4064-6650

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