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#PE-RIE(AFS-PR6T)표면처리(개질),Ashing,식각(Etching)3가지 공정 진행 장비

관리자 | 2021.04.29 13:02 | 조회 132

PE-RIE System


1. 플라즈마 표면처리(개질) 공정을 하여 Cleaning, 친수성, 발수성(소수성)처리 공정을 진행 할 수 있습니다.

2. Ashing(PR 제거) 공정을 진행 할 수 있습니다.

3. 식각(에칭: Etching) 공정을 진행 할 수 있습니다.


KIST, 바이오센터, 한남대학교, 등 납품을 했습니다.


3가지 공정을 한 System에서 진행 할 수 있습니다.


문의사항이 있으시면 언제든지 연락주세요


팀장 강신석

010-4064-6650

042-9332514

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